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氩离子截面抛光系统

氩离子抛光仪是EBSD制样专用设备，利用氩离子束对材料样品表面或者截面进行轰击，以获得平整精密的抛光截面和平面样品，并配合扫描电镜（SEM）完成对样品内部结构微观特征的观察和分析。