VEGA3是一款功能强大的电子显微镜系统，可支持高&低真空环境操作。使用了强力的涡沦分子泵和机械泵，可以快速简单地得到干净的真空样品室。加速电压5kV-30Kv，电子束电流1pA-2uA，样品室内部尺寸:230mm(width)×148mm(depth)，样品台:全自动控制。用于金属、非金属、生物等各种样品的微观形貌分析，微区物质成分分析，化学元素衬度像、晶粒取向衬度像分析等。